钨灯丝扫描电镜通过对电子枪内的钨灯丝加高电压，使电子枪处于热激发状态，在阳极作用下，处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，调制得图像。
钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像，可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
钨灯丝扫描电镜的其他一些有益措施：
1.新灯丝的表面可能吸附一定量的空气、水汽，当它被安装到电镜镜筒里时，会从灯丝表面缓缓释放，影响镜筒的真空度，腐蚀灯丝。因此，新灯丝在更换前要先经过“去潮、去气”处理，可在电热箱内放置数小时，然后放入透射电镜底片抽气室预抽气数小时以除去新灯丝上吸附的残余空气和水汽。
2.干燥好的样品若暂时不用，可放在干燥器或真空中保存，样品粘台后最好放入透射电镜底片抽气室预抽气数小时再放入电镜观察。
3.饱和点调低一点，满足要求即可。扫描电镜钨灯丝有两个饱和点：第2饱和点用于高分辨率观察照相，如果对图像要求不高或做，可以在第一饱和点工作，这样可以延长灯丝的寿命。
4.高真空抽到后等几分钟，让真空度更高。换样品放气前等几分钟，让灯丝冷却下来再放气，避免过热灯丝与大气接触氧化灯丝。
5.加速电压不宜用得过高，满足要求即可，能用低电压就不用高电压。放大倍数不超过一万倍时一般15-20Kv就可以了。同时，应保持工作电压与工作距离的相对稳定，如无特殊需要，不要经常更换电压与工作距离。因为频繁更改电镜工作参数不利于电镜稳定工作。
6.平时尽量少频繁开关灯丝，次数过多对灯丝不利。通过以上措施，不仅可以大大减少维护费用，同时很好的保证了电子显微镜的高效、稳定运行。
