扫描电子显微镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。
扫描电子显微镜是以能量为1-30kV间的电子束，以光栅状扫描方式照射到被分析试样的表面上，利用入射电子和试样表面物质相互作用所产生的二次电子和背散射电子成像，获得试样表面微观组织结构和形貌信息。配置波谱仪和能谱仪，利用所产生的X射线对试样进行定性和定量化学成分分析。扫描显微镜的电子枪为场发射电子枪，通过高能电子束照射被测样品后所产生不同的物理信号，而后对不同的物理信号进行分析得到被测样品的多种信息。
扫描电镜仪器技术的发展进一步提高电子束照明源的工作稳定性，减小其闪烁噪音；进一步提高在低加速电压下对大试样观察和分析的分辨率；开拓同低能扫描电子显微术有关功能的新仪器技术。扫描电子显微镜有较高的放大倍数，有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪(EDS)装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
