透射电镜结构主要分为电子光学、真空系统和供电控制系统三个部分。
一、透射电镜电子光学部分:整个电子光学部分*置于镜筒之内,自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统。
1.照明系统:照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中及倾斜调节装置组成。它的作用是为成像系统提供一束亮度高、相干性好的照明光源。电子枪由阴极、栅极和阳极构成。在真空中通电加热后使从阴极发射的电子获得较高的动能形成定向高速电子流。聚光镜的作用是会聚从电子枪发射出来的电子束,控制照明孔径角、电流密度和光斑尺寸。
2.样品室:样品室中有样品杆、样品杯及样品台。
3.成像系统:成像系统一般由物镜、中间镜和投影镜组成。物镜的分辨本领决定了电镜的分辨本领,中间镜和投影镜的作用是将来自物镜的图像进一步放大。
4.图像观察与记录系统:该系统由荧光屏、照相机、数据显示等组成。
二、透射电镜真空系统:真空系统由机械泵、油扩散泵、换向阀门、真空测量仪奉及真空管道组成。它的作用是排除镜筒内气体,使镜筒真空度至少要在托以上。如果真空度低的话,电子与气体分子之间的碰撞引起散射而影响衬度,还会使电子栅极与阳极间高压电离产生极间放电,残余的气体还会腐蚀灯丝,污染样品。
三、供电控制系统:加速电压和透镜磁电流不稳定将会产生严重的色差及降低电镜的分辨本领,所以加速电压和透镜电流的稳定度是衡量电镜性能好坏的一个重要标准。