环扫电镜是一种扫描电子显微镜,利用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。最常见的扫描电镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子。可以检测的二次电子的数量,取决于样品测绘学形貌。
环扫电镜常见分类:
1.分析扫描电镜:扫描电镜配备X射线能谱仪EDS后发展成分析扫描电镜,不仅比X射线波谱仪WDS分析速度快、灵敏度高、也可进行定性和无标样定量分析。
2.场发射枪扫描电镜:场发射扫描电镜得到了很大的发展,不仅提高了常规加速电压时的分辨本领,还显著改善了低压性能。
3.低压扫描电镜:低压扫描电镜LVSEM由于可以提高成像的反差,减少甚至消除试样的充放电现象并减少辐照损伤,因此受到了人们的嘱目。
环扫电镜应用领域:
1.显微结构的分析:由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。
2.纳米尺寸的研究:高分辨率的扫描电子显微镜在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面因具有简便、可操作性强的优势被大量采用。
3.铁电畴的观测:扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的,可以将样品表面预先进行化学腐蚀后,利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。