高分辨率扫描电镜是电子显微镜的一种，其原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
高分辨率扫描电镜的检测范围：
1.金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析；
2.各种材料微区化学成分的定性定量检测；
3.粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定；
4.机械零件与工业产品的失效分析；
5.镀层厚度、成分与质量测定；
6.生物、医学和农业等领域。
高分辨率扫描电镜的基本构造：
1.电子枪：也称电子源，产生连续不断的稳定的电子流。场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同，阴极呈杆状，在它的一端有个极锋利的尖点(直径小于100nm)，顶端的电场*，电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极，由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说，扫描电镜加速电压通常为1-30kV。
2.电子透镜：将从电子枪发射出来的电子汇聚成直径最小为1-5nm电子束。
3.扫描系统：使电子束作光栅扫描运动。
