sem扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,有较高的放大倍数,万倍之间连续可调;有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简单。它是当今十分有用的科学研究仪器。
sem扫描电镜SEM的原理:能显示各种图像的信息是由于聚焦的电子束与样品的相互作用而产生的各种信号。相互作用区的线性体积:随原子序数的增加而减小;随电子束能量的增加而增加;电子束与样品的角度关系是倾斜角增加时,相互作用区变小。
样品的成分、加速电压都影响相互作用区,一般情况下,相互作用区比束斑大,每种信号从固体发出的空间范围,是决定扫描图像空间分辨能力的重要因素。sem扫描电镜在材料领域的具体应用:
1.材料表面形貌的观察:通过扫描电子显微镜我们可以观察材料的表面形貌。
2.断口形貌的观察:通过扫描电子显微镜我们可以进行材料的断口形貌的观察,借助扫描电镜分析断口的破坏特征、零件内部的结构及缺陷,从而判断零件损坏的原因。
3.微区化学成分分析:在样品的处理过程中,有时需要提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料,以便能够更全面、客观地进行判断分析。为此,相继出现了扫描电子显微镜—电子探针多种分析功能的组合型仪器。扫描电子显微镜如配有X射线能谱(EDS)和X射线波谱成分分析等电子探针附件,可分析样品微区的化学成分等信息。