钨灯丝扫描电镜的灯丝寿命相对较短，一般只有几十个小时。灯丝寿命直接影响扫描电镜运行成本、有效运行时间、仪器性能等。因此日常维护保养要格外注意灯丝的保养。
1.保持镜筒的高真空度
随时注意镜筒是否存在微小泄露，同时保证各级泵的性能，必要时要更换泵油。再有就是待观察样品应尽量干燥、无挥发性物质。
2.适当增加灯丝高度
灯丝工作时发射电子束，灯丝的发射束流与灯丝的加热电流和灯丝高度有关，灯丝高度越大，则灯丝达饱和点的工作温度就越低，灯丝表面蒸发得也越慢。因此在保证理论高度的条件下，我们可以将灯丝高度适当增加。新型扫描电镜一般配有几个可选灯丝垫片，其型号不一样，厚薄也不一样。在满足观察要求的情况下，我们可以选择厚一点的垫片以增加灯丝高度，减少灯丝饱和电流。
3.及时手动调整灯丝电流
在扫描电镜使用过程中，应经常观察灯丝的饱和程度，当发现灯丝电流不在饱和状态时，适当手动调整灯丝电流，使灯丝处于饱和状态。另外新型扫描电镜电子枪的调整一般分全自动调整和半自动调整，我们一般应选择半自动调整。否则，当自动调整电子枪时，灯丝电流也将一起调整且长时间处于过大电流，极大地消耗灯丝，严重影响灯丝寿命。
4.准确对中灯丝
安装、更换新灯丝时仍需检查灯丝的对中情况，最好将安装好的灯丝组件放在解剖镜下再检查一下，看灯丝是否居中，否则很容易导致灯丝亮度偏暗，而由此操作者又会增加偏压或电流来提高亮度，损伤灯丝。
