透射扫描电子显微镜是一种高精度的分析仪器，为了保持其正常运行和保持良好的工作状态，需要进行以下几方面的维护和保养：
1、真空系统的维护：透射扫描电子显微镜操作必须在真空环境下进行，因此需要对真空泵、阀门等设备进行定期保养和维护，以确保真空系统的正常运行。如果发现真空度异常或漏气等情况，应及时检修，保证设备的稳定性和精度。
2、TEM样品架的清洁：样品架是用来支撑样品的重要部件，需要经常进行清洁以避免污染和样品粘附。每次实验后应及时清洗样品架，并保持干燥，避免细菌滋生和样品残留。
3、电子枪的维护：电子枪是显微镜中最关键的组件之一，需要定期清洁和校准，以确保其能够提供稳定电子束且电子束质量达到最佳水平。如果发现电子束不稳定或亮度异常等情况，应及时检修，保证设备的性能和精度。
4、场发射电子源的维护：场发射电子源是产生电子束的另一个关键部件，需要定期检查和更换，以保证电子束的稳定性和质量。如果发现电子束不稳定或能量异常等情况，应及时检修，保证设备的性能和精度。
5、筒体的清洗：筒体是显微镜的主体部件，需要定期进行清洗和调整。清洗时应使用专用的清洗剂和工具，避免对筒体造成损伤或腐蚀。
总之，透射扫描电子显微镜的维护和保养需要从多个方面入手，包括真空系统、样品架、电子枪、场发射电子源、筒体、镜头和软件系统等。定期进行维护和保养可以保证设备的正常运行和保持良好的工作状态，提高实验的准确性和可靠性。同时应建立设备维护档案，记录设备的维修历史和更换零件的情况，方便管理和维护。
