双束扫描电镜（FIB-SEM）的工作原理是将聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）和扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）结合在一起，是一种集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能强大的综合型分析与表征设备，具有成像和加工两个系统。这种设备可以在SEM实时观测下，使用FIB对样品进行微米至纳米级别的精确加工。
双束扫描电镜在科研、工业等领域有广泛的应用：
1、生命科学研究：利用双束扫描电镜对动植物细胞、组织、微生物等进行超微结构观察，研究细胞内部结构的变化和功能机制。
2、材料科学：用于研究各种材料的微观结构和性能，如金属、陶瓷、复合材料等。通过离子束刻蚀和沉积技术，可以在材料表面进行微纳级别的加工和制备。
3、集成电路制造：在集成电路和芯片设计制造中，利用双束扫描电镜进行高分辨实时观察和微纳尺度图形的精细加工，实现电路修补、材料微纳复杂图形的加工和制备等。
4、环境监测：用于分析土壤、水体等环境样品中的微小颗粒、污染物等物质的分布和形态。
5、地质学：用于研究岩石、矿物、古生物等地质样品的微观结构和形成过程。
6、医学领域：双束扫描电镜可以用于观察细胞和组织的细微结构，辅助疾病的诊断和治疗。
