FEI扫描电镜

产品介绍

FEI扫描电镜Prisma E SEM是一款高度灵活的扫描电子显微镜(SEM)，在各种条件下都能有出色的全能性能。基于其低真空和环境扫描的SEM (ESEM)模式，它*具备分析不导电，含气体、水分或其它非常规测试的样品。Prisma E SEM的高度灵活性、便捷使用性以及对样品的宽泛适用性，是多用户实验室的理想选择。

发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）

分辨率：

高真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）

低真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；4.0 nm@ 3kV（BSE）；10nm@ 3kV（SE）

环境扫描模式成像 3.0nm@ 30kV（SE）

放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）

加速电压范围：200V ~ 30kV

探针电流范围：可高达到2μA，连续可调；

低真空范围：高达130Pa；

ESEM真空范围：高达2600Pa（H2O）/4000Pa（N2）；

X-Ray工作距离：10mm，EDS检出角35°

样品室：从左至右为340mm宽的大存储空间，样品室可拓展接口数量12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）

样品台：五轴优中心全自动马达驱动

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15º~90º,R=360º （连续旋转）

多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）

大样品高度不低于200mm

大样品承重 5 kg

探测器系统：

高真空二次电子探测器ETD

样品室内IR红外相机CCD

低真空二次电子探测器LVD

气体二次电子探测器GSED（环境真空）

控制系统：

操作系统：Windows 10

图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200

支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像

软件支持Undo和Redo功能

FEI扫描电镜(SEM)特点与用途：

☆ 方便快捷的加载多种样品和重样品；

☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相机和蒙太奇导航功能简化样品导航；

☆ 便捷性的用户指南和撤消功能；

☆ 先进的扫描模式和电子束减速确保图像质量；

☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技术下进行直观的元素分析；

☆ 真空模式，具备强大的样品兼容性；

☆ *的环境扫描模式能够在材料的自然状态下成像；

☆ 可集成冷/热台进行易于控制的动态实验；

☆ 广泛选择的探测器和附件，包括扫描透射电 (STEM)，阴极发光，图像拼接等