欧波同第三方检测|氩离子抛光技术在镀膜样品中的应用
氩离子抛光技术是对样品表面或者截面进行抛光,得到表面光滑无损伤的样品,能够观察到样品内部真实结构。Gatan公司生产的精密刻蚀镀膜系统——PECSII685(图1),是集抛光和镀膜于一体的氩离子抛光设备,它采用两个宽束氩离子束对样品表面进行抛光。685可以做普通的抛光方法无法解决的问题:a.氩气的工作氛围,可以有效保护容易氧化或者对水蒸气特别敏感的材料;b.样品台采用液氮制冷方式,可以有效的保护热敏感的样品,避免离子束热损伤;c.685自带的精确到纳米级别的镀膜功能,可以有效...